掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法 |
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| 標準編號：GB/T 29190-2012 |
標準狀態：現行 |
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| 標準價格：38.0 元 |
客戶評分：  |
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本標準規定了SPM 漂移速率的術語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數規格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測量基本方法。
本標準適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測量。本標準中的漂移測量不適用于圖像校正。 |
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| 英文名稱： |
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope |
 中標分類： |
綜合>>計量>>A60光學計量 |
| ICS分類： |
計量學和測量、物理現象>>光學和光學測量>>17.180.99有關光學和光學測量的其他標準 |
| 發布部門： |
中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會 |
| 發布日期： |
2012-12-31 |
| 實施日期： |
2013-06-01
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| 提出單位： |
中國科學院 |
| 歸口單位： |
全國納米技術標準化技術委員會(SAC/TC279)歸口。 |
| 起草單位： |
中國科學技術大學、上海市計量測試技術研究院 |
| 起草人： |
黃文浩、陳宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛頓、朱五林、劉一 |
| 頁數： |
20頁 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |
| 出版日期： |
2013-06-01 |
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本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。
本標準由中國科學院提出并歸口。
本標準由全國納米技術標準化技術委員會(SAC/TC279)歸口。
本標準起草單位:中國科學技術大學、上海市計量測試技術研究院。
本標準主要起草人:黃文浩、陳宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛頓、朱五林、劉一。 |
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前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范圍 1
2 規范性引用文件 1
3 術語和定義、縮略語 1
4 測量方法 2
5 要求 2
5.1 儀器要求 2
5.2 環境要求 2
6 測量步驟 2
7 測量報告 3
附錄A (規范性附錄) 圖像相關分析法 4
附錄B(規范性附錄) 特征點法 7
附錄C (規范性附錄) 非周期光柵法 9
附錄D (資料性附錄) 原子光柵法 12
附錄E (資料性附錄) 測量方法比較 14
參考文獻 15 |
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下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T15000.3 標準樣品工作導則(3) 標準樣品 定值的一般原則和統計方法;
JJF1001 通用計量術語及定義;
JJF1059 測量不確定度評定與表示(ISOGUM:1995,IDT);
ISO18115 表面化學分析 名詞,第2 部分:掃描探針顯微鏡適用術語(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning—probemicroscopy)。 |
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