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| 英文名稱： |
Electronic gas—Tetrafluoromethane |
 中標分類： |
化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體 |
| ICS分類： |
化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體 |
| 發布部門： |
國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會 |
| 發布日期： |
2024-04-25 |
| 實施日期： |
2024-11-01
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| 提出單位： |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
| 起草單位： |
浙江省化工研究院有限公司、昊華氣體有限公司、杭氧集團股份有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、浙江巨化技術中心有限公司、中化藍天氟材料有限公司、江西華特電子化學品有限公司、福建久策氣體股份有限公司等 |
| 起草人： |
史婉君 王娟 張琦炎 羅霞 胡迎 付夢月 李企真 朱曉平 王占衛 袁瑞玲 傅鑄紅 陳艷珊 馬建修 陳程 褚人財 李霞 何西 禹金龍 曹素英 何經余 沈琦 郭華軒 王新喜 孫猛 沈益軍 潘金平 洪倩 石林 呂博文 萬娟秀 朱明 談益強 劉亮 張朋越 陳潔 吳靚 方華 鄭新蕊 何波 黃小強 黃輝等 |
| 頁數： |
16頁 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |