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標準編號 標準名稱 發布部門 實施日期 狀態
 DL/T 2310-2021  電力系統高壓功率器件用碳化硅外延片使用條件 國家能源局 2021-10-26 現行
 GB/T 11072-2009  銻化銦多晶、單晶及切割片 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 11093-2007  液封直拉法砷化鎵單晶及切割片 國家質量監督檢驗檢疫. 2008-02-01 現行
 GB/T 11094-2007  水平法砷化鎵單晶及切割片 國家質量監督檢驗檢疫. 2008-02-01 作廢
 GB/T 11094-2020  水平法砷化鎵單晶及切割片 國家市場監督管理總局. 2021-08-01 現行
 GB/T 12962-1996  硅單晶 國家技術監督局 1997-04-01 作廢
 GB/T 12962-2005  硅單晶 國家質量監督檢驗檢疫. 2006-04-01 作廢
 GB/T 12962-2015  硅單晶 國家質量監督檢驗檢疫. 2017-01-01 現行
 GB/T 12963-1996  硅多晶 國家技術監督局 1997-04-01 作廢
 GB/T 12963-2009  硅多晶 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 12963-2014  電子級多晶硅 國家質量監督檢驗檢疫. 2015-09-01 作廢
 GB/T 12963-2022  電子級多晶硅 國家市場監督管理總局. 2023-07-01 現行
 GB/T 12964-1996  硅單晶拋光片 1997-04-01 作廢
 GB/T 12964-2003  硅單晶拋光片 國家質量監督檢驗檢疫. 2004-01-01 作廢
 GB/T 12964-2018  硅單晶拋光片 國家市場監督管理總局. 2019-06-01 現行
 GB/T 12965-1996  硅單晶切割片和研磨片 國家技術監督局 1997-04-01 作廢
 GB/T 12965-2005  硅單晶切割片和研磨片 國家質量監督檢驗檢疫. 2006-04-01 作廢
 GB/T 12965-2018  硅單晶切割片和研磨片 國家市場監督管理總局. 2019-06-01 現行
 GB/T 13387-2009  硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 13388-2009  硅片參考面結晶學取向X射線測試方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 13389-2014  摻硼摻磷摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規程 國家質量監督檢驗檢疫. 2015-09-01 現行
 GB/T 14139-2009  硅外延片 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 14139-2019  硅外延片 國家市場監督管理總局. 2020-05-01 現行
 GB/T 14140-2009  硅片直徑測量方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 14141-2009  硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 14144-2009  硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 14146-2009  硅外延層載流子濃度測定 汞探針電容-電壓法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 14264-2009  半導體材料術語 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 14264-2024  半導體材料術語 國家市場監督管理總局. 2024-11-01 現行
 GB/T 14844-2018  半導體材料牌號表示方法 國家市場監督管理總局. 2019-11-01 現行
 GB/T 14847-2010  重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2011-10-01 現行
 GB/T 14863-2013  用柵控和非柵控二極管的電壓電容關系測定硅外延層中凈載流子濃度的方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2014-08-15 廢止
 GB/T 1551-2009  硅單晶電阻率測定方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 1553-2009  硅和鍺體內少數載流子壽命測定光電導衰減法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 1554-2009  硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 現行
 GB/T 1555-1997  半導體單晶晶向測定方法 國家技術監督局 1998-08-01 作廢
 GB/T 1555-2009  半導體單晶晶向測定方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 1558-1997  硅中代位碳原子含量 紅外吸收測量方法 國家技術監督局 1998-08-01 作廢
 GB/T 1558-2009  硅中代位碳原子含量 紅外吸收測量方法 國家質量監督檢驗檢疫. 2010-06-01 作廢
 GB/T 16595-1996  晶片通用網格規范 國家技術監督局 1997-04-01 作廢
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