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| 英文名稱： |
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM) |
 中標(biāo)分類： |
電子元器件與信息技術(shù)>>電子測(cè)量與儀器>>L85電子測(cè)量與儀器綜合 |
| ICS分類： |
計(jì)量學(xué)和測(cè)量、物理現(xiàn)象>>長度和角度測(cè)量>>17.040.30測(cè)量?jī)x器儀表 |
| 采標(biāo)情況： |
SEMI E10-0304:2004 MOD |
| 發(fā)布部門： |
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2009-10-15 |
| 實(shí)施日期： |
2009-12-01
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| 首發(fā)日期： |
2009-10-15 |
| 提出單位： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì) |
| 歸口單位： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì) |
| 主管部門： |
國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 起草單位： |
中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所 |
| 起草人： |
黃英華、劉筠、張建勇、蔣迪寶 |
| 計(jì)劃單號(hào)： |
20068064-T-469 |
| 頁數(shù)： |
36頁 |
| 出版社： |
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社 |
| 出版日期： |
2009-12-01 |