|
| 英文名稱： |
Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane |
 中標分類： |
化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體 |
| ICS分類： |
化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體 |
| 發布部門： |
國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會 |
| 發布日期： |
2023-08-06 |
| 實施日期： |
2024-03-01
|
| 提出單位： |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
| 起草單位： |
洛陽中硅高科技有限公司、昊華氣體有限公司、亞洲硅業(青海)股份有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、福建久策氣體股份有限公司、湖州市南潯區佰通標準化研究院、廣東華特氣體股份有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學品有限公司等 |
| 起草人： |
萬燁、王娟、張園園、付夢月、嚴大洲、郭瓊、陳海寶、魏東亮、柳彤、沙婷、曹素英、陳輝、張天澤、廖恒易、陳艷珊、金向華、孫猛、傅鑄紅、歐基友、牛艷東、劉麗娜、張廣第、馬彬淇、杜大艷、曹小林、方強、袁有錄、陶剛義、楊華志、華祥斌、李紀明、沈俊、李楷東、陽輝等 |
| 頁數： |
20頁 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |