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英文名稱: |
Electronic specialty gas—Nitric oxide |
中標分類: |
化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體 |
ICS分類: |
化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體 |
發布部門: |
國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會 |
發布日期: |
2023-08-06 |
實施日期: |
2024-03-01
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提出單位: |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
歸口單位: |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
起草單位: |
大連科利德光電子材料有限公司、昊華氣體有限公司、湖州市南潯區佰通標準化研究院、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學品有限公司、華測檢測認證集團股份有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司等 |
起草人: |
施旖旎、付夢月、陳輝、劉穎、焦培培、郭瓊、張天澤、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅鑄紅、陳艷珊、金向華、孫猛、廖恒易、茹高藝、曹雪楓、湯萍、牛艷東、李長健、馬彬淇、杜大艷、曹小林、方強、袁有錄、王小波、尹愛華、常俠、邊魯寧、陽輝、汪正宏、陳潔、吳靚、方華等 |
頁數: |
16頁 |
出版社: |
中國標準出版社 |