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電子特氣 一氧化氮

國家標準
標準編號:GB/T 42721-2023 標準狀態:現行
標準價格:31.0 客戶評分:星星星星1
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標準簡介
本文件規定了一氧化氮的技術要求、采樣、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。本文件適用于集成電路等電子工業制造中使用的電子用一氧化氮。
英文名稱:  Electronic specialty gas—Nitric oxide
什么是中標分類? 中標分類:  化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
什么是ICS分類?  ICS分類:  化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門:  國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
發布日期:  2023-08-06
實施日期:  2024-03-01
提出單位:  全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
什么是歸口單位? 歸口單位:  全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位:  大連科利德光電子材料有限公司、昊華氣體有限公司、湖州市南潯區佰通標準化研究院、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學品有限公司、華測檢測認證集團股份有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司等
起草人:  施旖旎、付夢月、陳輝、劉穎、焦培培、郭瓊、張天澤、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅鑄紅、陳艷珊、金向華、孫猛、廖恒易、茹高藝、曹雪楓、湯萍、牛艷東、李長健、馬彬淇、杜大艷、曹小林、方強、袁有錄、王小波、尹愛華、常俠、邊魯寧、陽輝、汪正宏、陳潔、吳靚、方華等
頁數:  16頁
出版社:  中國標準出版社
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