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英文名稱: |
Electronic specialty gas—1,3-Hexafluorobutadiene |
中標分類: |
化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體 |
ICS分類: |
化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體 |
發布部門: |
國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會 |
發布日期: |
2021-08-20 |
實施日期: |
2022-03-01
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提出單位: |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
歸口單位: |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
起草單位: |
浙江省化工研究院有限公司、中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司、昊華氣體有限公司、中化藍天氟材料有限公司、衢州氟硅技術研究院、福建久策氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、江西華特電子化學品有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等 |
起草人: |
史婉君、張建君、李翔宇、郭君、付夢月、侯玲玲、褚人財、李霞、譚慧、何經余、曹素英、傅鑄紅、陳艷珊、馬建修、曹小林、楊俊豪、王新喜、孫猛、陳潔、吳靚、方華、于慶偉、何波、唐中偉、黃輝、宮兵、王大為、易達文、李陽、梁永強、梁成科、高靜、吳克安、白占旗、鬲春利 |
頁數: |
16頁 |
出版社: |
中國標準出版社 |