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| 英文名稱： |
Electronic specialty gas—Fluoromethane |
 中標(biāo)分類： |
化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體 |
| ICS分類： |
化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體 |
| 發(fā)布部門： |
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2021-08-20 |
| 實(shí)施日期： |
2022-03-01
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| 提出單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203) |
| 起草單位： |
浙江省化工研究院有限公司、昊華氣體有限公司、中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司、衢州氟硅技術(shù)研究院、中化藍(lán)天氟材料有限公司、福建久策氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等 |
| 起草人： |
史婉君、張建君、方小青、孫福楠、付夢(mèng)月、侯玲玲、鄭秋艷、董云海、譚慧、褚人財(cái)、顏光清、何經(jīng)余、曹素英、傅鑄紅、陳艷珊、馬建修、程緊、葉相平、王新喜、孫猛、陳潔、吳靚、方華、孫赟瓏、何波、黃小強(qiáng)、黃輝、宮兵、王大為、易達(dá)文、李陽(yáng)、梁永強(qiáng)、梁成科、高靜等 |
| 頁(yè)數(shù)： |
16頁(yè) |
| 出版社： |
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社 |