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| 英文名稱： |
Silicon tetrachloride for electronic industry |
 中標分類： |
化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體 |
| ICS分類： |
化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體 |
| 發布部門： |
國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會 |
| 發布日期： |
2020-07-21 |
| 實施日期： |
2021-02-01
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| 提出單位： |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203) |
| 起草單位： |
湖北晶星科技股份有限公司、湖北省標準化與質量研究院、洛陽中硅高科技有限公司、唐山三孚電子材料有限公司、湖北光谷標準創新科技有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、浙江西亞特電子材料有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、大連大特氣體有限公司等 |
| 起草人： |
徐德、張國光、黃娣、劉暢、楊劍、趙雄、楚東旭、王春英、戴帥、張競、黃國菲、廖恒易、陳艷珊、楊利、于青玉、方華、曹作斌、曲慶、陳鷹、李春華、黃輝、譚鵬程、鄧遠方、周鵬云、徐龍、趙帥德、唐霞梅 |
| 頁數： |
16頁 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |