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金覆蓋層厚度的掃描電鏡測(cè)量方法
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):
GB/T 17722-1999
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):
現(xiàn)行
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24.0
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英文名稱:
Gold-plated thickness measurement by SEM
中標(biāo)分類:
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ICS分類:
成像技術(shù)
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37.020光學(xué)設(shè)備
發(fā)布部門:
國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期:
1999-04-01
實(shí)施日期:
1999-01-02
首發(fā)日期:
1999-04-11
復(fù)審日期:
2004-10-14
歸口單位:
全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門:
國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位:
中國科學(xué)院北京科儀研制中心
頁數(shù):
平裝16開, 頁數(shù):7, 字?jǐn)?shù):10千字
出版社:
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
書號(hào):
155066.1-15975
出版日期:
2004-04-16
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